太赫兹用石英基板微带电路制作工艺技术

随着卫星应用频段提高到毫米波甚至太赫兹频段，常规陶瓷基材在损耗、表面状态上的不足已非常突出，石英基材将成为星载微波电路板的首选。但由于石英基材自身的特点以及高频段应用的特殊要求，石英基材微带电路的制作技术在国内还不成熟。文章通过对石英基板材料特性、工艺流程、关键工艺技术进行分析，提出了电路制作应注意的技术要领，以及工艺难点的解决方法