%0 Journal Article
%T 太赫兹用石英基板微带电路制作工艺技术
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%D 2016
%R 10.11805/TKYDA201601.0023
%X 随着卫星应用频段提高到毫米波甚至太赫兹频段，常规陶瓷基材在损耗、表面状态上的不足已非常突出，石英基材将成为星载微波电路板的首选。但由于石英基材自身的特点以及高频段应用的特殊要求，石英基材微带电路的制作技术在国内还不成熟。文章通过对石英基板材料特性、工艺流程、关键工艺技术进行分析，提出了电路制作应注意的技术要领，以及工艺难点的解决方法
%K 石英 太赫兹 微带电路 薄膜工艺
%U http://www.iaeej.com/xxydzgc/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20160105&flag=1