感应耦合射频等离子体

摘要： 评述了感应耦合射频等离子体的基本原理和主要设计特点。对不同研究者在确定放电区的电磁场、温度、速度和浓度分布时所作的诊断测量给予了特别重视。通过对数学模拟的讨论,对提出的不同模型和所得典型结果给出了总的看法。简要评述了感应耦合等离子体技术在材料加工、超微粉合成和光谱化学元素分析等方面的应用