%0 Journal Article
%T 感应耦合射频等离子体
%A MaherI.Boulos
%A 朱清文
%J 力学进展
%D 1988
%R 10.6052/1000-0992-1988-2-J1988-027
%X 摘要： 评述了感应耦合射频等离子体的基本原理和主要设计特点。对不同研究者在确定放电区的电磁场、温度、速度和浓度分布时所作的诊断测量给予了特别重视。通过对数学模拟的讨论,对提出的不同模型和所得典型结果给出了总的看法。简要评述了感应耦合等离子体技术在材料加工、超微粉合成和光谱化学元素分析等方面的应用
%U http://lxjz.cstam.org.cn/CN/10.6052/1000-0992-1988-2-J1988-027