射频磁控溅射法制备La0.9Sr0.1Ga0.8Mg0.2O3-δ电解质薄膜的研究
Keywords: 固体氧化物燃料电池,LSGM,RF磁控溅射,薄膜
Abstract:
本文采用射频磁控溅射法成功地在多孔La0.7Sr0.3Cr0.5Mn0.5O3-δ（LSCM7355）阳极基底上制备了致密的LSGM电解质薄膜层。研究结果表明：当溅射功率为210W、基底温度为300℃、溅射气氛氩气压强为5Pa、溅射时间为12h，得到表观形貌较好、厚度约为10μm的LSGM电解质薄膜。在1000℃空气气氛中退火2h后，电解质薄膜物相结构符合多晶态钙钛矿型结构
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