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- 2011
MOD法在种子层/Ni-W上制备La0.4Sr0.6TiO3薄膜的研究Keywords: SrTiO3种子层,La0.4Sr0.6TiO3缓冲层,热处理,取向 Abstract: 采用金属有机沉积法(MOD)在双轴织构的Ni-5at.％W基带上制备了SrTiO3种子层，然后再在种子层上沉积La0.4Sr0.6TiO3薄膜。SEM图像显示种子层颗粒分布均匀，大小基本一致。通过XRD和SEM研究了不同热处理温度对La0.4Sr0.6TiO3薄膜取向和微观形貌的影响，结果显示，在Ar-4%H2气氛下于950℃制备的薄膜取向良好，表面光滑致密，无裂纹和孔洞出现
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