%0 Journal Article %T MOD法在种子层/Ni-W上制备La0.4Sr0.6TiO3薄膜的研究 %A 樊占国 %A 罗清威 %J 功能材料 %D 2011 %X 采用金属有机沉积法(MOD)在双轴织构的Ni-5at.%W基带上制备了SrTiO3种子层,然后再在种子层上沉积La0.4Sr0.6TiO3薄膜。SEM图像显示种子层颗粒分布均匀,大小基本一致。通过XRD和SEM研究了不同热处理温度对La0.4Sr0.6TiO3薄膜取向和微观形貌的影响,结果显示,在Ar-4%H2气氛下于950℃制备的薄膜取向良好,表面光滑致密,无裂纹和孔洞出现 %K SrTiO3种子层 %K La0.4Sr0.6TiO3缓冲层 %K 热处理 %K 取向 %U http://www.gncl.cn/CN/abstract/abstract11157.shtml