光诱导液相沉积Ni/Cu应用于晶硅电池栅线的制备

摘 要： 本文采用光诱导液相沉积（LIP）的方法制备了Ni、Cu薄膜，并进一步讨论了沉积温度等相关因素对薄膜成分与形貌的影响。采用X射线衍射仪（XRD）和扫描电子显微镜（SEM）、四探针测试仪等分别对薄膜的成分、形貌、电阻率、非均匀性等进行表征。结果显示，制备的Cu膜电阻率为1.87×10-8 Ω?m、非均匀性为2.64%。此外，本文将制备的Ni/Cu工艺应用于制备晶硅电池的栅线电极，用I-V测试仪测试电池参数，填充因子高达77.8%