柔性衬底 PET上低温沉积 ZnxCd1-xO透明导电薄膜

摘要： 利用直流反应磁控溅射在柔性衬底(聚乙烯对苯二酸脂, PET)上低温沉积了对可见光透明的低电阻率的ZnxCd1-xO薄膜, 并研究了Zn含量x对ZnxCd1-xO薄膜的结晶性能、电学性能及光学性能的影响. XRD分析结果表明, 当x<0.65时, 薄膜为CdO结构, 但x>0.65时, 薄膜为高度取向的ZnO结构. Hall效应测试显示, 当x≤0.5时, 薄膜的载流子浓度很高, 电阻率为10-3 Ω·cm的数量级; 迁移率随x增加先增大, 在x=0.5处达到极大值, 然后随x的增加而降低. 紫外可见透射谱表明, 掺Zn后的ZnxCd1-xO薄膜在整个可见光波段内的透过率远远高于纯CdO薄膜的透过率. 综合分析结果表明, x=0.5是低温制备的低阻、高透光性能薄膜的最佳Zn含量.