%0 Journal Article
%T 柔性衬底 PET上低温沉积 ZnxCd1-xO透明导电薄膜
%A 周强
%A 张品
%A 陈敏梅
%A 季振国
%J 无机材料学报
%D 2008
%X 摘要： 利用直流反应磁控溅射在柔性衬底(聚乙烯对苯二酸脂, PET)上低温沉积了对可见光透明的低电阻率的ZnxCd1-xO薄膜, 并研究了Zn含量x对ZnxCd1-xO薄膜的结晶性能、电学性能及光学性能的影响. XRD分析结果表明, 当x<0.65时, 薄膜为CdO结构, 但x>0.65时, 薄膜为高度取向的ZnO结构. Hall效应测试显示, 当x≤0.5时, 薄膜的载流子浓度很高, 电阻率为10-3 Ω·cm的数量级; 迁移率随x增加先增大, 在x=0.5处达到极大值, 然后随x的增加而降低. 紫外可见透射谱表明, 掺Zn后的ZnxCd1-xO薄膜在整个可见光波段内的透过率远远高于纯CdO薄膜的透过率. 综合分析结果表明, x=0.5是低温制备的低阻、高透光性能薄膜的最佳Zn含量.
%K 直流磁控溅射
%K 柔性衬底
%K ZnCdO薄膜
%K 透明导电膜
%U http://www.jim.org.cn/CN/10.3724/SP.J.1077.2008.00361