TiO2氧敏元件的研究和发展概况

摘要： TiO2材料作为氧传感器具有广泛的应用．本文介绍了TiO2氧传感器的工作原理和制作过程中采用的三种工艺，即陶瓷烧结体、厚膜和薄膜技术．并对如何提高氧传感器的性能进行了探讨．