%0 Journal Article
%T TiO2氧敏元件的研究和发展概况
%A 周伟
%A 孙成文
%A 杨芝洲
%J 无机材料学报
%D 1998
%X 摘要： TiO2材料作为氧传感器具有广泛的应用．本文介绍了TiO2氧传感器的工作原理和制作过程中采用的三种工艺，即陶瓷烧结体、厚膜和薄膜技术．并对如何提高氧传感器的性能进行了探讨．
%K 二氧化钛氧传感器
%K 陶瓷烧结体
%K 厚膜
%K 薄膜
%U http://www.jim.org.cn/CN/abstract/abstract11343.shtml