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红外与毫米波学报 2017
面向100GHz+数模混合电路的0.5μm InP DHBT工艺Keywords: 磷化铟 双异质结晶体管 分频器 Abstract: 本文报道了一种高性能的3英寸磷化铟双异质结双极型晶体管工艺。发射极尺寸为0.5×5μm2的磷化铟双异质结双极型晶体管，电流增益截止频率以及最高振荡频率分别达到350GHz以及532GHz，击穿电压4.8V。基于该工艺研制了114GHz静态分频器以及170GHz动态分频器两款工艺验证电路，这两款电路的工作频率处于国内领先水平
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