%0 Journal Article
%T 面向100GHz+数模混合电路的0.5μm InP DHBT工艺
%A 常龙
%A 张有涛
%A 牛斌
%A 王元
%A 程伟
%A 谢俊领
%A 陆海燕
%J 红外与毫米波学报
%D 2017
%X 本文报道了一种高性能的3英寸磷化铟双异质结双极型晶体管工艺。发射极尺寸为0.5×5μm2的磷化铟双异质结双极型晶体管，电流增益截止频率以及最高振荡频率分别达到350GHz以及532GHz，击穿电压4.8V。基于该工艺研制了114GHz静态分频器以及170GHz动态分频器两款工艺验证电路，这两款电路的工作频率处于国内领先水平
%K 磷化铟 双异质结晶体管 分频器
%U http://journal.sitp.ac.cn/hwyhmb/hwyhmbcn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=160116&flag=1