钼掺杂氧化锌薄膜的制备及其性能研究

采用掺氧化钼(MoO3)的氧化锌(ZnO)陶瓷靶作为溅射源材料，利用磁控溅射工艺制备了钼掺杂氧化锌 (MZO)透明导电氧化物(TCO)薄膜，通过X-射线衍射仪(XRD)、光分光光度计和四探针仪进行了测试表征，研究 了溅射功率对MZO薄膜结构、光学和电学性能的影响．结果表明: 所沉积的MZO薄膜样品均为六角纤锌矿结构， 并具有(002) 择优取向生长特性，溅射功率对薄膜结构和光电性能具有不同程度的影响．当溅射功率为120 W时， MZO薄膜的可见光区平均透过率最高、电阻率最低、性能指数最大，具有最好的光电综合性能