%0 Journal Article
%T 钼掺杂氧化锌薄膜的制备及其性能研究
%A 康 淮
%A 陆 轴
%A 顾锦华
%J 中南民族大学学报(自然科学版)
%D 2017
%R 10.12130/znmdzk.20170216
%X 采用掺氧化钼(MoO3)的氧化锌(ZnO)陶瓷靶作为溅射源材料，利用磁控溅射工艺制备了钼掺杂氧化锌 (MZO)透明导电氧化物(TCO)薄膜，通过X-射线衍射仪(XRD)、光分光光度计和四探针仪进行了测试表征，研究 了溅射功率对MZO薄膜结构、光学和电学性能的影响．结果表明: 所沉积的MZO薄膜样品均为六角纤锌矿结构， 并具有(002) 择优取向生长特性，溅射功率对薄膜结构和光电性能具有不同程度的影响．当溅射功率为120 W时， MZO薄膜的可见光区平均透过率最高、电阻率最低、性能指数最大，具有最好的光电综合性能
%K 掺杂氧化锌 薄膜 结构 光电性能
%U http://znzk.scuec.edu.cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20170216&flag=1