多弧离子镀制备 TiN 涂层的高温氧化行为分析

利用多弧离子镀技术沉积 TiN 涂层，并在空气中对该涂层进行了500 ～ 680℃范围内的氧化实验． 通过 SEM 与 XRD 技术分析了实验制备的 TiN 涂层及其氧化产物的结构形貌，结果表明:多弧离子镀技术所沉积的 TiN 涂层表面较为粗糙，存在大量颗粒与凹坑; TiN 涂层在空气中的氧化产物为 TiO2，550℃时存在较轻程度的氧化行 为，随着温度的升高，氧化作用加剧，在温度为650℃时 TiN 涂层氧化程度加深，但剥落并不明显，当温度超过650℃ 达到680℃，TiN 涂层完全氧化，部分区域因为应力作用而发生严重剥落