%0 Journal Article
%T 多弧离子镀制备 TiN 涂层的高温氧化行为分析
%A 万 强
%A 刘辉东
%A 杨 兵
%A 罗 畅
%A 蔡 耀
%A 陈燕鸣
%J 中南民族大学学报(自然科学版)
%D 2015
%R 10.12130/znmdzk.20150414
%X 利用多弧离子镀技术沉积 TiN 涂层，并在空气中对该涂层进行了500 ～ 680℃范围内的氧化实验． 通过 SEM 与 XRD 技术分析了实验制备的 TiN 涂层及其氧化产物的结构形貌，结果表明:多弧离子镀技术所沉积的 TiN 涂层表面较为粗糙，存在大量颗粒与凹坑; TiN 涂层在空气中的氧化产物为 TiO2，550℃时存在较轻程度的氧化行 为，随着温度的升高，氧化作用加剧，在温度为650℃时 TiN 涂层氧化程度加深，但剥落并不明显，当温度超过650℃ 达到680℃，TiN 涂层完全氧化，部分区域因为应力作用而发生严重剥落
%K TiN 多弧离子镀 氧化行为
%U http://znzk.scuec.edu.cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20150414&flag=1