CrN、CrSiN薄膜在不同介质下的摩擦学性能对比研究

采用中频非平衡反应磁控溅射法在单晶硅〖BF〗P(111)〖BFQ〗和不锈钢（304SS）基材上制备CrN和CrSiN薄膜；利用球-盘式摩擦磨损试验机（CSM）考察2种薄膜在不同介质（空气、去离子水、质量分数35%NaCl 溶液）中和WC/Co球对摩的摩擦学性能。结果表明：大气环境下，CrN与CrSiN薄膜的磨损机制主要是磨粒磨损；水润滑下，CrN薄膜主要因机械抛光作用，CrSiN薄膜主要因摩擦化学反应，使得摩擦因数减小；在35%NaCl 溶液中CrN薄膜易被腐蚀，由于NaCl颗粒析出以及涂层接触区域的腐蚀和磨损产物，作为第三体的润滑作用，导致摩擦磨损发生明显变化，而CrSiN薄膜不易被腐蚀，主要因摩擦化学反应，使得摩擦磨损性能发生显著变化。