%0 Journal Article
%T CrN、CrSiN薄膜在不同介质下的摩擦学性能对比研究
%A 宋晓航
%A 张广安
%A 王海新
%A 苏培博
%A 蒲吉斌
%A 鞠鹏飞
%J 润滑与密封
%D 2016
%R 10.3969/j.issn.0254-0150.2016.09.017
%X 采用中频非平衡反应磁控溅射法在单晶硅〖BF〗P(111)〖BFQ〗和不锈钢（304SS）基材上制备CrN和CrSiN薄膜；利用球-盘式摩擦磨损试验机（CSM）考察2种薄膜在不同介质（空气、去离子水、质量分数35%NaCl 溶液）中和WC/Co球对摩的摩擦学性能。结果表明：大气环境下，CrN与CrSiN薄膜的磨损机制主要是磨粒磨损；水润滑下，CrN薄膜主要因机械抛光作用，CrSiN薄膜主要因摩擦化学反应，使得摩擦因数减小；在35%NaCl 溶液中CrN薄膜易被腐蚀，由于NaCl颗粒析出以及涂层接触区域的腐蚀和磨损产物，作为第三体的润滑作用，导致摩擦磨损发生明显变化，而CrSiN薄膜不易被腐蚀，主要因摩擦化学反应，使得摩擦磨损性能发生显著变化。
%K CrN薄膜 CrSiN薄膜 摩擦磨损 磁控溅射
%U http://www.rhymf.com.cn/tg/rhymf/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=RF20150603&flag=1