|
|
北京理工大学学报 2018
脉冲无氰电镀在硅基RF-MEMS滤波器中的应用及优化DOI: 10.15918/j.tbit1001-0645.2018.01.012 Keywords: MEMS滤波器 脉冲电镀 亚硫酸金盐 氰电镀 Abstract: 针对硅基RF-MEMS带通滤波器制备过程中金层电镀沉积工艺，基于亚硫酸金盐氰电镀液，并结合脉冲电镀技术，通过对电流密度、占空比、正负脉冲时间比、脉冲频率、温度、搅拌速率等相关工艺参数进行优化组合，实现了所设计的硅基双层自屏蔽式RF-MEMS带通滤波器制备与测试，也为相关RF-MEMS器件制备提供了工艺指导
|
