%0 Journal Article
%T 脉冲无氰电镀在硅基RF-MEMS滤波器中的应用及优化
%A 丁英涛
%A 严阳阳
%A 刘斌
%A 卢威
%A 王士伟
%J 北京理工大学学报
%D 2018
%R 10.15918/j.tbit1001-0645.2018.01.012
%X 针对硅基RF-MEMS带通滤波器制备过程中金层电镀沉积工艺，基于亚硫酸金盐氰电镀液，并结合脉冲电镀技术，通过对电流密度、占空比、正负脉冲时间比、脉冲频率、温度、搅拌速率等相关工艺参数进行优化组合，实现了所设计的硅基双层自屏蔽式RF-MEMS带通滤波器制备与测试，也为相关RF-MEMS器件制备提供了工艺指导
%K MEMS滤波器 脉冲电镀 亚硫酸金盐 氰电镀
%U http://journal.bit.edu.cn/zr/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20180112&flag=1