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- 2016
纳米压痕法测磁控溅射铝薄膜屈服应力
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Abstract:
摘要 为了在考虑残余应力下测量出磁控溅射铝薄膜的屈服应力，提出了一种实验测量方法，通过曲率测试法和球形压头纳米压痕法测出磁控溅射铝薄膜的屈服应力．建立球形压痕力学模型，并用ANSYS对球形压痕进行力学有限元仿真，利用直流磁控溅射技术在硅基上淀积一层1 μm厚的铝薄膜，首先通过曲率测试法测量膜内等双轴残余应力，再利用最小二乘曲线拟合法从薄膜/基底系统的球形压头纳米压痕实验数据中提取出铝薄膜的屈服应力，测得磁控溅射铝薄膜的屈服应力为371 MPa．该方法也可以用来研究其他材料的薄膜和小体积材料的力学特性
