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OALib Journal期刊
ISSN: 2333-9721
费用：99美元
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纳米si薄膜的结构及压阻效应
Keywords: 纳米si薄膜,压阻效应,微结构,简支梁法
Abstract:
？使用hrem及stm技术检测了纳米si薄膜的微结构纳米si薄膜由大量的细微si晶粒以及大量的晶粒间界面区组成.这一特殊的结构造成纳米si薄膜具有较大的压阻效应及较高氢含量.本文分析讨论了薄膜微结构对其压阻效应的作用,并认为纳米si薄膜材料将是一种理想的传感器材料
| [1] | 1何宇亮,刘湘娜,王志超等中国科学(a辑),1992、(9):9952heyuliangyinchenzhong,chengguangruetaljapplphys,1994,75(2):7973何宇亮,褚一鸣,王中怀等．半导体学报．1994,15(1):714baicl,wangzh,heyletaljvacscitechnolb,1994,12(3):18235刘湘娜,何宇亮,王富朝等．物理学报,1993,42(12):19796余明斌,何宇亮,刘洪涛．物理学报,1995,44(4):6347何宇亮,武旭辉,林鸿溢．科学通报,1995,40(7):6058heyuliang,chuyiming,linhongyietal．chinphyslett1993,10(9):5399何宇亮,孙勤生,韦亚一等．1994秋季中国材料研讨会文集ⅱ卷一分册,北京:化学工业出版社,995:31410johnywseto．japplphys1975,46(12):524711何宇亮,殷晨钟,程光煦等．半导体学报,1992,13(11):68312刘刚,余岳辉等．半导体器件北京:电子工程出版社,1990年第6章f
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