%0 Journal Article
%T 纳米si薄膜的结构及压阻效应
%A 何宇亮
%A 林鸿溢
%A 武旭辉
%A 余明斌
%A 于晓梅
%A 王珩
%A 李冲
%J 材料研究学报
%D 1996
%X ？使用hrem及stm技术检测了纳米si薄膜的微结构纳米si薄膜由大量的细微si晶粒以及大量的晶粒间界面区组成.这一特殊的结构造成纳米si薄膜具有较大的压阻效应及较高氢含量.本文分析讨论了薄膜微结构对其压阻效应的作用,并认为纳米si薄膜材料将是一种理想的传感器材料
%K 纳米si薄膜
%K 压阻效应
%K 微结构
%K 简支梁法
%U http://www.cjmr.org/CN/abstract/abstract16030.shtml