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OALib Journal期刊
ISSN: 2333-9721
费用：99美元
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sn—sno_x薄膜的组织结构及湿敏性
Keywords: 蒸发,热氧化,sn—sno_x,薄膜,湿敏
Abstract:
？报道了一种制备sn—snox湿敏薄膜的新工艺(veto).首先在1mpa的真空下蒸发纯金属sn质量分数999mg·g-1,衬底(al2o3陶瓷基片)温度控制在150～250℃;蒸发的sn膜在空气中缓慢氧化,即可获得湿度敏感的sn—snox薄膜.利用xrd和sem分析了膜的晶体结构和表面形貌环境湿度rh从11%变到97%肘,膜阻抗变化约三个量级,膜电导是电子电导和离子电导的混合.在低温区电子电导是主要的,在高温区离子电导占优势.
| [1] | 1kangwp,xujf,lalevicbetalsensorsandactuators,1987,12;3492kohld,thorenw,schnakenberguetal．jchemsocfaradaytrans,1991,87(16):26473sberveglierig,groppellis,nellip．sensorsandactuatorsb,1991,4:4574sberveglierig,fagliag,groppellisetalsensorsandactuatorsb,1992,7:7215sbefveglierig,fagliag,groppellisetalsemicondscitechnol,1990,5:12316morimotot,nagaom,tokudafjphyschem,1969,73:2437清山哲郎[日]著,黄明敏译．金属氧化物及其催化作用．合肥:中国科技大学出版社,1991:1448harrisonpg,guesta．jchemsocfaradaytrans,1987,83(11):33839morrisonsr．thechemicalphysicsofsurface．newyork:plenuml,press,1977:21b
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