%0 Journal Article
%T sn—sno_x薄膜的组织结构及湿敏性
%A 严百平
%A 朱秉升
%A 刘道新
%J 材料研究学报
%D 1996
%X ？报道了一种制备sn—snox湿敏薄膜的新工艺(veto).首先在1mpa的真空下蒸发纯金属sn质量分数999mg·g-1,衬底(al2o3陶瓷基片)温度控制在150～250℃;蒸发的sn膜在空气中缓慢氧化,即可获得湿度敏感的sn—snox薄膜.利用xrd和sem分析了膜的晶体结构和表面形貌环境湿度rh从11%变到97%肘,膜阻抗变化约三个量级,膜电导是电子电导和离子电导的混合.在低温区电子电导是主要的,在高温区离子电导占优势.
%K 蒸发
%K 热氧化
%K sn—sno_x
%K 薄膜
%K 湿敏
%U http://www.cjmr.org/CN/abstract/abstract16035.shtml