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OALib Journal期刊
ISSN: 2333-9721
费用：99美元
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离子束溅射ti和ni薄膜的初生过程
Keywords: 薄膜初生过程,层状生长模式
Abstract:
？用aes方法原位研究了离子束溅射ti和ni元素成膜的初生模式,它们在单晶si上以层状fm模式生长,其成膜速率与其溅射产额有关。
| [1] | 1qizhenzhong,duguoping,kehanqi,jmaterscitechnol,1994,10:4512argilecc,rheasge．surfacesci,1989,10:773joukovaehaekangas,williamsellend,robertlpark．physicalreview,1996,33:22814杜国平,ti//nacl(100)、ag//ta(100)和ag//ta(110)薄膜的初生过程的研究,[硕士论文],中国科学院固体物理所,1992:355shixu,evansbl．jmaterialssci,1992,27:31086陈国平．薄膜物理与技术,南京:东南大学出版社,1993:20f
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