%0 Journal Article
%T 离子束溅射ti和ni薄膜的初生过程
%A 杨春生
%A 周狄
%A 威震中
%A 张寿柏
%A 蔡丙初
%J 材料研究学报
%D 1996
%X ？用aes方法原位研究了离子束溅射ti和ni元素成膜的初生模式,它们在单晶si上以层状fm模式生长,其成膜速率与其溅射产额有关。
%K 薄膜初生过程
%K 层状生长模式
%U http://www.cjmr.org/CN/abstract/abstract15940.shtml