溶胶—凝胶法制备的al_2o_3感温膜及其性质
Keywords: 溶胶—凝胶法,电泳工艺,al_2o_3薄膜,湿敏性
Abstract:
？用溶胶—凝胶方法,采用电泳工艺在al基片上制成al2o3薄膜.膜物质主要是非晶态,但含有少量微晶.随着热处理温度的升高,进晶含量增加,这种湿敏膜在中,高湿区有良好的感湿性能.
| [1] | 1hsiehhp．bhaverr,fleminghl．membranescience．1988:39:2212helmutdislich．jnon-cryst．1986:80:1153刘克俭,申海涛．电子元件与材料,1991:10(6):124卢朝靖,王世敏,赵建洪等．无机材料学报,1993:8(4):4665李彬．仪表材料,1990;21(5):290
|
Full-Text
