%0 Journal Article %T 溶胶—凝胶法制备的al_2o_3感温膜及其性质 %A 陈广文 %A 殷景华 %A 薛占林 %A 桂太龙 %J 材料研究学报 %D 1995 %X ?用溶胶—凝胶方法,采用电泳工艺在al基片上制成al2o3薄膜.膜物质主要是非晶态,但含有少量微晶.随着热处理温度的升高,进晶含量增加,这种湿敏膜在中,高湿区有良好的感湿性能. %K 溶胶—凝胶法 %K 电泳工艺 %K al_2o_3薄膜 %K 湿敏性 %U http://www.cjmr.org/CN/abstract/abstract16120.shtml