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OALib Journal期刊
ISSN: 2333-9721
费用：99美元
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掺硼金刚石膜的热敏特性
Keywords: 掺硼,金刚石膜,热敏特性
Abstract:
？用微波pcvd法将掺硼金刚石膜淀积在si3n4基片上.用ti薄膜作为欧姆接触电极蒸发在金刚石膜表面上.为防止ti在高温下氧化,上面镀上了au薄膜,从室温到600℃范围内测试了这些金刚石膜样品的电阻(r),发现t1和r之间呈线性关系,若改变掺硼浓度以及热处理条件可以控制掺硼金刚石膜的热敏特性,结果表明掺硼金刚石膜显示了高的敏感性和好的稳定性,是一种优良的热敏电阻材料.
| [1] | 1naojifujimori,hideakinakahatk．inmyoshikawaed．newdiamond,japannewdiamondforum,1990:982蒋翔六主编．金刚石薄膜研究进展．北京:化学工业出版社,1991:104
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