%0 Journal Article
%T 掺硼金刚石膜的热敏特性
%A 贾宇明
%A 杨邦朝
%A 李言荣
%A 郑昌琼
%A 苟立
%A 冉均国
%J 材料研究学报
%D 1996
%X ？用微波pcvd法将掺硼金刚石膜淀积在si3n4基片上.用ti薄膜作为欧姆接触电极蒸发在金刚石膜表面上.为防止ti在高温下氧化,上面镀上了au薄膜,从室温到600℃范围内测试了这些金刚石膜样品的电阻(r),发现t1和r之间呈线性关系,若改变掺硼浓度以及热处理条件可以控制掺硼金刚石膜的热敏特性,结果表明掺硼金刚石膜显示了高的敏感性和好的稳定性,是一种优良的热敏电阻材料.
%K 掺硼
%K 金刚石膜
%K 热敏特性
%U http://www.cjmr.org/CN/abstract/abstract15945.shtml