热处理温度对铁电薄膜底电极pt和pt/ti物相与形貌的影响

？随着热处理温度上升,在sio2/si衬底上溅射的pt、pt/ti电极中,构成pt薄膜的晶粒由小变大,由分布均匀到晶粒局部聚集,最后分离成小岛.ti层可提高pt薄膜与基片间的粘附性和高温下的稳定化快速热处理可提高pt薄膜在高温下的连续性.并研究了pt薄膜对plt铁电薄膜的成品率和分散性的影响.