%0 Journal Article
%T 热处理温度对铁电薄膜底电极pt和pt/ti物相与形貌的影响
%A 宋志棠
%A 任巍
%A 吴小清
%A 张良莹
%A 姚熹
%J 材料研究学报
%D 1997
%X ？随着热处理温度上升,在sio2/si衬底上溅射的pt、pt/ti电极中,构成pt薄膜的晶粒由小变大,由分布均匀到晶粒局部聚集,最后分离成小岛.ti层可提高pt薄膜与基片间的粘附性和高温下的稳定化快速热处理可提高pt薄膜在高温下的连续性.并研究了pt薄膜对plt铁电薄膜的成品率和分散性的影响.
%K pt薄膜
%K 铁电薄膜
%K 直流溅射
%K 缺陷
%K 电极
%U http://www.cjmr.org/CN/abstract/abstract15805.shtml