ti-al—n系功能梯度薄膜的相结构
Keywords: 功能梯度薄膜,ti—al-n,相结构与相分布
Abstract:
？实验证明ti—al-n系功能梯度薄膜在厚度方向上有金属al,(ti,al)n和(ti_2al)n(110)三种相结构,在(ti,al)n相中又有(111)和(200)两种择优取向.随着氮分压pn的不断增加,薄膜中金属相含量急剧下降,陶瓷相含量则急剧增加,当pn>1.5pa后两种相含量的变化均趋平缓.
| [1] | 1hyumkt,joohh,hahnbh．surfcoattechnol,1989,39(7):409
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