%0 Journal Article
%T ti-al—n系功能梯度薄膜的相结构
%A 乔学亮
%A 候晏红
%A 吴一平
%A 陈建国
%A 孙培祯
%J 材料研究学报
%D 1996
%X ？实验证明ti—al-n系功能梯度薄膜在厚度方向上有金属al,(ti,al)n和(ti_2al)n(110)三种相结构,在(ti,al)n相中又有(111)和(200)两种择优取向.随着氮分压pn的不断增加,薄膜中金属相含量急剧下降,陶瓷相含量则急剧增加,当pn>1.5pa后两种相含量的变化均趋平缓.
%K 功能梯度薄膜
%K ti—al-n
%K 相结构与相分布
%U http://www.cjmr.org/CN/abstract/abstract15965.shtml