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OALib Journal期刊
ISSN: 2333-9721
费用：99美元
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掺钇非晶硅的电特性
Keywords: 溅射,掺y非晶硅,电特性
Abstract:
？由射频溅射技术将稀土元素钇(y)掺入非晶硅,制备出一种新的n型半导体材料.掺y低于9%(原子百分数,下同)时,在测量温度范围内1ogσ～t~-1呈线性关系;当掺y高于13%时,logσ~t-关系可拟合成有一个拐点的两条直线;当掺y达～30%时,发生由半导体向金属的转变
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Full-Text
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