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OALib Journal期刊
ISSN: 2333-9721
费用：99美元
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al含量对(ti,al)n薄膜微观结构与性能的影响
Keywords: (ti,al)n薄膜,微观结构,al含量
Abstract:
？研究了al含量对(ti,al)n薄膜微观结构与性能的影响.实验结果表明:同tin薄膜相同,在(ti,al)n系薄膜中存在着(111)、(200)和(220)三种择优取向。随着al含量的增加这三种取向的衍射强度呈不同的变化趋势,而这三种取向的面间距则都呈先降后升的趋势,利用上述微观结构的变化可合理地解释(ti,al)n薄膜的硬度随al含量的增加呈先升后降的现象
| [1] | 1条原嘉一,临困一路,渡边龙三．日本复合材料学会志,1991;17(5):1792刘桂新,金宗哲,王廷籍．材料科学进展,1991;5(6):4983储双杰,王浩伟．材料科学进展,1993;7(3);2684佐佐木真,金瑞元,平井敏雄等．粉体粉末冶金．1992;39(4):2955金瑞元,佐佐木真,平井敏雄等．粉体粉末冶金;1992;39(4):2916柳襄怀,杨根庆,王曦等．材料研究学报,1994;8(1);617乔学亮,候晏红,吴一平等．中国机械工程,1994:(学刊):259<
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