%0 Journal Article
%T al含量对(ti,al)n薄膜微观结构与性能的影响
%A 乔学亮
%A 吴一平
%A 陈建国
%A 孙培祯
%J 材料研究学报
%D 1995
%X ？研究了al含量对(ti,al)n薄膜微观结构与性能的影响.实验结果表明:同tin薄膜相同,在(ti,al)n系薄膜中存在着(111)、(200)和(220)三种择优取向。随着al含量的增加这三种取向的衍射强度呈不同的变化趋势,而这三种取向的面间距则都呈先降后升的趋势,利用上述微观结构的变化可合理地解释(ti,al)n薄膜的硬度随al含量的增加呈先升后降的现象
%K (ti
%K al)n薄膜
%K 微观结构
%K al含量
%U http://www.cjmr.org/CN/abstract/abstract16041.shtml