|
OALib Journal期刊
ISSN: 2333-9721
费用：99美元
|
|
|
|
ibad合成cn_x/nbn纳米多层膜
Keywords: 纳米多层膜,结构微组装,ibadnbn,β—c_3n_4
Abstract:
？用离子束辅助沉积技术(ionbeamassisteddeposition,ibad)制成cnx/nbn纳米多层膜.研究了工艺参数(轰击能量,基片温度)对股的结构和性能的影响,分析表明,多层膜内的nbn为多晶结构.在轰击能量为400ev,基片温度为600℃时,得到了与β—c3n的晶面间距相对应的三条电子衍射环.基片温度的上升,膜层的硬度上升;轰击能量增大.炒股层的硬度表现为先上升后下降,最大显微硬度达41.81gpa.
| [1] | 1a.y.liu,m.l.cohen,science,245,841(1989)
|
| [2] | 5m.y.chen,x.lin,v.pdravidy.w.chung,m.s.wongw.dsproul,j.vac.scitechnol,a11(3),521(1993)
|
| [3] | 6m.y.chen,x.lin,v.p.dravid,y.w.chung,m.s.wongw.d.sproul,surf,andcoat.technol.,54/55,360(1992)
|
| [4] | 7f.s.lu,applicationsofdiamondfilmsandrelatedmaterials,editerbyy.tzeng,m.yoshikawam,markawaa.feldman,(elseviersciencepublishers,b,v,1991)p.575
|
| [5] | 9贺小明,离子束辅助沉积类金刚石破膜的研究,博士论文,清华大学(1994)
|
| [6] | 2h.x.han,b.j.feldman,solidstatecornmun,69,921(1988)
|
| [7] | 3l.mop,d.r.cole,e.w.hapaman,j.am.cerem.soc,74,1686(1991)
|
| [8] | 4c.j.toring,j.m.sivertser,j.h.judyc.changt.mater.res,5,2490(1990)
|
| [9] | 8antonioregalado,science.267,1089(1995)
|
Full-Text
|
|
Contact Us
service@oalib.com QQ:3279437679 
WhatsApp +8615387084133
|
|
