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OALib Journal期刊
ISSN: 2333-9721
费用：99美元
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zno:al薄膜的组织结构与性能
Keywords: zno薄膜,温度,光学吸收边,透射率
Abstract:
？用直流磁控反应溅射合金靶制备了zno薄膜,研究了衬底温度和退火温度对薄膜的结构及电学和光学性能的影响.衬底温度升高能改善薄膜的电学特性,其原因是薄膜晶粒尺寸的增大.温度升高导致薄膜基本光学吸收边向短波移动,但对高透射区(450-850nm)的透射率影响不大.
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