%0 Journal Article
%T zno:al薄膜的组织结构与性能
%A 裴志亮
%A 谭明晖
%A 杜昊
%A 陈猛
%A 孙超
%A 黄荣芳
%A 闻立时
%J 材料研究学报
%D 2000
%X ？用直流磁控反应溅射合金靶制备了zno薄膜,研究了衬底温度和退火温度对薄膜的结构及电学和光学性能的影响.衬底温度升高能改善薄膜的电学特性,其原因是薄膜晶粒尺寸的增大.温度升高导致薄膜基本光学吸收边向短波移动,但对高透射区(450-850nm)的透射率影响不大.
%K zno薄膜
%K 温度
%K 光学吸收边
%K 透射率
%U http://www.cjmr.org/CN/abstract/abstract1680.shtml