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OALib Journal期刊
ISSN: 2333-9721
费用：99美元
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低温生长的zno单晶薄膜的结构和性能
Keywords: 电子束反应蒸镀,单晶zno薄膜,玻璃衬底
Abstract:
？采用电子束反应蒸镀方法在玻璃衬底上在低温下外延生长了沿c--轴高度取向的单晶zno薄膜.研究了衬底温度及反应气氛中的o2对薄膜结构的影响,结合荧光光谱(pl)和荧光激发光谱(ple)研究了玻璃上zno薄膜的光学跃迁特性.在325℃下获得的单晶薄膜(002)晶面的x射线衍射峰强度最大且线宽最窄(0.28o).反应气氛中的o2对zno薄膜结构的影响不明显,但对薄膜的pl及ple特性的影响显著.
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