%0 Journal Article
%T 低温生长的zno单晶薄膜的结构和性能
%A 邱东江
%A 吴惠桢
%A 杨爱龄
%A 徐晓玲
%J 材料研究学报
%D 2000
%X ？采用电子束反应蒸镀方法在玻璃衬底上在低温下外延生长了沿c--轴高度取向的单晶zno薄膜.研究了衬底温度及反应气氛中的o2对薄膜结构的影响,结合荧光光谱(pl)和荧光激发光谱(ple)研究了玻璃上zno薄膜的光学跃迁特性.在325℃下获得的单晶薄膜(002)晶面的x射线衍射峰强度最大且线宽最窄(0.28o).反应气氛中的o2对zno薄膜结构的影响不明显,但对薄膜的pl及ple特性的影响显著.
%K 电子束反应蒸镀
%K 单晶zno薄膜
%K 玻璃衬底
%U http://www.cjmr.org/CN/abstract/abstract1669.shtml