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OALib Journal期刊
ISSN: 2333-9721
费用：99美元
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co薄膜的稳定性和室温相观察
Keywords: 钴硅化物,薄膜,室温相,部分凝聚,电子显微镜
Abstract:
？用电镜对si(001)基体上的co薄膜的室温相和稳定性进行了观察,高分辨像和小角解理的电子衍射结果均表明:室温下,co薄膜不发生反应,室温相为α-co,没有硅化物形成.co薄膜在经过300℃2h退火后,薄膜发生部分凝聚现象,凝聚团由硅化物组成.300℃退火后薄膜由co2si和cosi两相组成.
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