%0 Journal Article
%T co薄膜的稳定性和室温相观察
%A 张灶利
%A 郭红霞
%A 肖治纲
%A 余宗森
%A 王桂兰
%J 材料研究学报
%D 1999
%X ？用电镜对si(001)基体上的co薄膜的室温相和稳定性进行了观察,高分辨像和小角解理的电子衍射结果均表明:室温下,co薄膜不发生反应,室温相为α-co,没有硅化物形成.co薄膜在经过300℃2h退火后,薄膜发生部分凝聚现象,凝聚团由硅化物组成.300℃退火后薄膜由co2si和cosi两相组成.
%K 钴硅化物
%K 薄膜
%K 室温相
%K 部分凝聚
%K 电子显微镜
%U http://www.cjmr.org/CN/abstract/abstract1771.shtml