al掺杂zno薄膜的结构研究

采用直流反应磁控溅射方法,在玻璃衬底上制备了al掺杂zno薄膜。系统研究了不同氩氧体积比、不同退火温度和氛围、不同al掺杂浓度对薄膜结构的影响。结果显示,al掺杂zno薄膜为多晶薄膜,呈六角纤锌矿结构,制备条件和后期处理以及掺杂浓度对薄膜的微结构有着很大的影响。在氩氧体积比6∶1条件下制备的薄膜,经真空500℃退火后具有较好的结晶和明显的(002)择优取向。