%0 Journal Article
%T al掺杂zno薄膜的结构研究
%A 岂云开？
%A 顾建军？
%A 李志文？
%A 杨淑敏？
%A 王振文？
%A 孙会元？
%J 河北科技大学学报
%P 115-119
%D 2011
%R 10.7535/hbkd.2011yx02004
%X 采用直流反应磁控溅射方法,在玻璃衬底上制备了al掺杂zno薄膜。系统研究了不同氩氧体积比、不同退火温度和氛围、不同al掺杂浓度对薄膜结构的影响。结果显示,al掺杂zno薄膜为多晶薄膜,呈六角纤锌矿结构,制备条件和后期处理以及掺杂浓度对薄膜的微结构有着很大的影响。在氩氧体积比6∶1条件下制备的薄膜,经真空500℃退火后具有较好的结晶和明显的(002)择优取向。
%K zno薄膜
%K 结构特性
%K 磁控溅射
%K 退火
%U http://xuebao.hebust.edu.cn/hbkjdx/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20110204&flag=1