常压cvd淀积非晶硅薄膜的研究

？本文应用常压cvd法制备出了α-si薄膜,它是非晶硅太阳能电池的良好材料。采用x射线衍射、扫描电镜、红外透射谱和x射线光电子能谱对α-si薄膜的结构和性能进行了研究,并给出了α-si薄膜的淀积理论模型。